台州氦气检测机

氦质谱检漏仪常见的几种检漏法：1、负压法检漏，负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。2、压氦法检漏，压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。台州氦气检测机

氦质谱检漏仪的主要性能指标：1、可检漏率：即氦质谱检漏仪所能检出的漏孔的漏率。2、响应(消除)时间：指一定流量的探索气体进入氦质谱检漏仪后，电子和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示才能达到固定值；反之，停止供气后，漏率指示不能立即回零，需要一定时间的下降过程，通常由于氦气的吸附和脱附作用，消除时间稍长于响应时间。3、启动时间：指氦质谱检漏仪自接通电源到能进行检漏的时间。氦质谱检漏仪以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。台州氦气检测机氦检仪普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。

氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气。

氦检仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。影响氦检仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。当发现氦检仪的灵敏度降低，而氦检仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏。全自动氦检仪大概多少钱

质谱室是氦检仪的重点部分，它包括离子源、聚焦、质量分析器和测量部分。台州氦气检测机

如何正确选择氦检仪？（1）仪器的功能是否能满足检漏的要求，如有些仪器没有逆流检漏功能，就不合适正压法检漏：有些仪器没有报废漏率的设置功能，就不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，因此应选择有双工位的氦检仪。（2）仪器的灵敏度是否能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。（3）被检件如果害怕油的污染，被应选择无油真空系统的氦检仪。（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速答的氦检仪，否则要另配预抽泵就比较麻烦。（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全，灵敏度较高，检漏范围宽的氦检仪。（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。（7）在满足检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否建议、维修是够方便等方面的问题。台州氦气检测机

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